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詳細介紹
HORIBA堀場全新電容式壓力計玉科精品直銷
HORIBA堀場全新電容式壓力計玉科精品直銷
絕對壓力測量對于包括半導體,F(xiàn)PD, HDD, PV和涂層在內(nèi)的各種行業(yè)的真空工藝是至關重要的。電容式壓力計從膜片的變形來確定總壓力,當膜片的兩側施加壓力差時,膜片發(fā)生形變。電容式壓力計較于其他方法的優(yōu)點是:
• 高精度
• 壓力輸出對氣體的依賴較小
• 相對氣體的耐腐蝕性
微型自加熱設計
創(chuàng)新的電極結構帶來高性能和高穩(wěn)定性
SUS316L隔膜
可從溫度控制 (55,100°C ) 或非加熱型選擇
一鍵調(diào)零
電源要求+/-15VDC 或 24VDC
符合 CE 和 RoHS 標準
模型 | VG-211S | VG-221S | ||
滿量程測量范圍 | 133.32帕(客) | 1.3332千帕(電流)、13.332千帕(電流)、133.32千帕(電流) | 133.32帕斯卡(A) | 1.3332千帕(電流)、13.332千帕(電流)、133.32千帕(電流) |
傳感器溫度*1 | 和。 (25 攝氏度) | 55℃ / 100℃ | ||
準確度 *2 | 0.5% 相對濕度 | 0.25% 相對濕度 | 0.5% 相對濕度 | 0.25% 相對濕度 |
解決 | 滿量程的 0.03% | 滿量程的 0.01% | 滿量程的 0.03% | 滿量程的 0.01% |
零點溫度系數(shù) | 滿量程的 0.01% /℃ | 滿量程的 0.005% /℃ | 滿量程的0.005% /℃ | 滿量程的 0.0025% /℃ |
跨度溫度系數(shù) | 0.05% 相對濕度/℃ | 0.03% 相對濕度/℃ | 0.03% 相對濕度/℃ | 0.02% 相對濕度/℃ |
響應時間 | < 60毫秒 | |||
工作溫度*3 | 10-50℃ | |||
接觸液體的材質(zhì) | SUS316L | |||
加壓極限 | 300千帕(安) | 350千帕(安) | 300千帕(安) | 350千帕(安) |
輸出信號 | 0-10VDC負載電阻:10kΩ以上 | |||
I/O 連接器 | D-Sub 15針 | |||
電源電壓 | +15VDC±5%、0.1A最大 -15VDC±5%、0.1A最大 | +15VDC±5%,0.6A最大。-15VDC±5%,0.6A最大。 | ||
24VDC±5%,最大2.4W。 | 24VDC±5%,最大22W。 | |||
預熱時間 | 15 分鐘 | 60分鐘(55℃控溫型) 120分鐘(100℃控溫型) | ||
開路集電極輸出 | 額定電壓:30V 額定電流:50mA | |||
重新歸零輸入 *4 | 零電壓觸點輸入 觸點開放電壓:13V 最大觸點電流:1.3mA | |||
標準配件*5 | KF16,1/2 英寸 VCR 母頭,ICF34,1/4 英寸 VCR 母頭 |
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