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氧氣分析儀 用于半導(dǎo)體、電子元件的氧分析儀

更新時(shí)間:2025-02-18      點(diǎn)擊次數(shù):67

氧氣分析儀用于半導(dǎo)體、電子元件的氧分析儀

MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860


型號(hào): MS-500

MS-500

  • 能夠同時(shí)測(cè)量多達(dá) 8 個(gè)點(diǎn)

  • 顯示從 ppm 級(jí)到 100% 的廣泛濃度范圍

  • 適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等中。

  • 直插式傳感器 (NW 16/25/40 真空法蘭)

  • 傳感器采用特殊涂層,耐用性更強(qiáng)

MS-500 規(guī)格

測(cè)量原理氧化鋯濃縮池類(lèi)型
類(lèi)型分離型(轉(zhuǎn)換器:壁掛式;傳感器:直接插入式)
顯示系統(tǒng)4 位數(shù)字顯示(濃度顯示)
測(cè)量范圍0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0ATM
自動(dòng)系列
重復(fù)性滿量程的 ±0.5% 以內(nèi);范圍 0-1% 或更高
在滿量程的 ±1% 或 ±0.1 ppm 以內(nèi),以較大者為準(zhǔn);范圍小于 0-1
% 濃度在 0-1 ppm 之間,大氣壓范圍不在保修期內(nèi)。
測(cè)量點(diǎn)數(shù)量1~8
樣氣要求壓力10-3至 200KPa(絕對(duì)壓力)
流量0.5 至 5,000 mL/min 或 0 mL/min(在自然分散狀態(tài)下測(cè)量)
濕度露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
溫度0 至 100°C
別人不得含有腐蝕性氣體(氟氣、氯氣、硫化氣等)、含有有機(jī)硅的氣體、易燃物質(zhì)(包括氣體)、油或濕氣
參比氣體大氣層
記錄器輸出僅傳輸輸出
傳輸輸出RS-232C 系列
警報(bào)輸出沒(méi)有
預(yù)熱時(shí)間6 分鐘或更短
尺寸MS-500(控制器)92 mm (W) ×44 mm (H)×120 mm (D)(不包括突出部分)
MS-510(轉(zhuǎn)換器)100 mm (W) × 40 mm (H)×88 mm (D)(不包括突出部分)
傳感器單元SD16NW型全長(zhǎng) 100mm(傳感器 ? 11×39,機(jī)身 ? 40×51)
SD25NW型全長(zhǎng) 100mm(傳感器 ? 11×42,機(jī)身 ? 40×48)
SD40NW 系列全長(zhǎng) 100mm(傳感器 ? 11×41,機(jī)身 ? 40×49)
重量MS-500(控制器)約 0.6 kg
MS-510(轉(zhuǎn)換器)約 0.5 kg
傳感器單元SD16NW型約 0.2 kg
SD25NW型約 0.2 kg
SD40NW 系列約 0.35 kg
外部連接任何真空法蘭(NW16、25 或 40)
權(quán)力24VDC±10%


型號(hào): LC-450A/LC-450D

LC-450A, LC-450D

  • 測(cè)量范圍廣
    能夠顯示從 ppm 級(jí)到 100% 的廣泛濃度范圍

  • 提高傳感器耐用性
    氧傳感器上使用特殊涂層,更耐用

  • 寬交流電源范圍 AC100~240VAC(LC-450A)
    * LC-450D 使用 DC 24 V 電源

  • 緊湊且易于安裝
    比傳統(tǒng)設(shè)備深度短。節(jié)省空間。

  • 符合 RoHS 規(guī)范

  • CE 標(biāo)志符合性
    聲明 EN61010-1:2002,EN61326:+A3:2003

LC-450A 規(guī)格

測(cè)量原理氧化鋯濃縮池類(lèi)型
類(lèi)型桌面型/面板安裝型
顯示系統(tǒng)4 位數(shù)字顯示(濃度顯示)
測(cè)量范圍0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0ATM 自動(dòng)系列
重復(fù)性滿量程的 ±1% 和 0-1 ppm 范圍內(nèi)的濃度(大氣壓)不在保修期內(nèi)。
采樣方法使用內(nèi)置泵進(jìn)行連續(xù)抽吸
樣氣要求壓力加壓 30 KPa 或更低
流量1,000~2,000 毫升/分鐘
濕度露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
溫度0 至 50°C
別人不得含有腐蝕性氣體(氟氣、氯氣、硫化氣等)、含有有機(jī)硅的氣體、易燃物質(zhì)(包括氣體)、油或濕氣
參比氣體大氣層
記錄器輸出氧氣濃度輸出在 4-20 mA 或 0-20 mA 之間切換(0-10 V 可選);絕緣;負(fù)載阻力為 550 Ω 或更低
記錄儀輸出范圍以滿量程表示,氧濃度以線性輸出表示
輸出范圍0-100%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自動(dòng)/固定范圍
傳輸輸出RS-232C 系列
警報(bào)輸出FAIL (設(shè)備錯(cuò)誤)1 積分無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下
發(fā)生設(shè)備故障時(shí)觸點(diǎn)閉合(觸點(diǎn)作可調(diào))
ALM(濃度警報(bào))2 積分 (H/L)無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下
發(fā)生警報(bào)時(shí)觸點(diǎn)閉合(觸點(diǎn)作可調(diào))
RDY (預(yù)熱信號(hào))1 積分無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下
  • 非電壓觸點(diǎn)的最小開(kāi)/關(guān)容量為 12 V 或更高;不響應(yīng)極小的負(fù)載

MRK(范圍標(biāo)記)輸出2 積分無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下
預(yù)熱時(shí)間5 分鐘或更短
尺寸身體210 mm (W) ×134 mm (H)×300 mm (D) (不包括突出部分)
重量約 6 kg
氣體連接入口RC1/4
旁通輸出RC1/4
出口RC1/4
權(quán)力100 至 240 V AC,50 V A(正常條件:35 V A)50 Hz/60 Hz

LC-450D 規(guī)格

測(cè)量原理氧化鋯濃縮池類(lèi)型
類(lèi)型桌面型/面板安裝型
顯示系統(tǒng)4 位數(shù)字顯示(濃度顯示)
測(cè)量范圍0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0ATM 自動(dòng)系列
重復(fù)性滿量程的 ±1% 和 0-1 ppm 范圍內(nèi)的濃度(大氣壓)不在保修期內(nèi)。
采樣方法使用內(nèi)置泵進(jìn)行連續(xù)抽吸
樣氣要求壓力加壓 30 KPa 或更低
流量1,000~2,000 毫升/分鐘
濕度露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
溫度0 至 50°C
別人不得含有腐蝕性氣體(氟氣、氯氣、硫化氣等)、含有有機(jī)硅的氣體、易燃物質(zhì)(包括氣體)、油或濕氣
參比氣體大氣層
記錄器輸出氧氣濃度輸出0-10 V 直流;絕緣;負(fù)載電阻 600 kΩ 或更高
(選項(xiàng):4-20 mA DC;絕緣;負(fù)載電阻 550 Ω 或更低)
記錄儀輸出范圍以滿量程和氧氣濃度為線性輸出
輸出范圍0-100%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自動(dòng)/固定范圍
傳輸輸出RS-232C 系列
警報(bào)輸出FAIL (設(shè)備錯(cuò)誤)1 積分無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下
發(fā)生設(shè)備故障時(shí)觸點(diǎn)閉合(觸點(diǎn)作可調(diào))
ALM(濃度警報(bào))2 分 (L/LL)無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下
發(fā)生警報(bào)時(shí)觸點(diǎn)閉合(觸點(diǎn)作可調(diào))
RDY (預(yù)熱信號(hào))1 積分無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下 預(yù)熱時(shí)
觸點(diǎn)閉合(觸點(diǎn)作可調(diào))
  • 非電壓觸點(diǎn)的最小開(kāi)/關(guān)容量為 12 V 或 20 mA 或更高;不響應(yīng)極小的負(fù)載

MRK(范圍標(biāo)記)輸出2 積分無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量:30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下
預(yù)熱時(shí)間5 分鐘或更短
尺寸身體240 mm (W) ×134 mm (H)×210 mm (D) (不包括突出部分)
重量約 5 kg
氣體連接入口RC1/8
旁通輸出RC1/8
出口RC1/8
權(quán)力24 V DC±10%,1.25 A(正常情況下為 30 V)

型號(hào): LC-860

LC-860

  • 低濃度測(cè)量
    測(cè)量范圍從 ppb 級(jí)到 100%

  • 易于作
    通過(guò)單獨(dú)的按鍵輕松作。

  • 吹掃功能
    通過(guò)穩(wěn)定參比氣體,可以進(jìn)行更寶貴的測(cè)量。(僅適用于具有吹掃功能的型號(hào))

  • 高可靠性傳感器
    可提供防止傳感器退化的處理(可選)。

LC-860 規(guī)格

測(cè)量原理氧化鋯濃縮池類(lèi)型
類(lèi)型桌面型/面板安裝型
顯示系統(tǒng)6 位數(shù)字顯示(濃度顯示)
測(cè)量范圍0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0atm
自動(dòng)/固定范圍
重復(fù)性在滿量程
的 ±1% 以內(nèi)氧氣濃度低于 1 ppm 和濃度在 0-1 ppm 范圍內(nèi),大氣壓范圍不在保修期內(nèi)。
采樣方法使用內(nèi)置泵進(jìn)行連續(xù)抽吸
樣氣要求壓力加壓 30 KPa 或更低
流量~1,500 毫升/分鐘
濕度露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
溫度0 至 50°C
別人不得含有腐蝕性氣體(氟氣、氯氣、硫化氣等)、含有有機(jī)硅的氣體、易燃物質(zhì)(包括氣體)、油或濕氣
參比氣體大氣層
記錄器輸出氧氣濃度輸出4-20 mA/0-10 V
4-20 mA:絕緣;負(fù)載電阻 600 Ω 以下
0-10 V:絕緣;負(fù)載阻力為 500 Ω 或更高
記錄儀輸出范圍以滿量程表示,氧濃度以線性輸出表示
輸出范圍0-100%、0-10%、0-1%、0-1000 ppm、0-100 ppm、0-100 ppm、0-10 ppm、10-20-10-0或具有任意 4 個(gè)量程的自動(dòng)/固定量程
傳輸輸出RS-232C 系列
警報(bào)輸出FAIL (設(shè)備錯(cuò)誤)1 積分無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量:24 V DC/AC 以下、0.1 A 以下
發(fā)生設(shè)備故障時(shí)觸點(diǎn)閉合(觸點(diǎn)作可調(diào))

ALM(濃度警報(bào))2 積分無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量:24 V DC/AC 以下、0.1 A 以下
發(fā)生警報(bào)時(shí)觸點(diǎn)閉合(觸點(diǎn)作可調(diào))
RDY (預(yù)熱信號(hào))1 積分無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量:24 V DC/AC 或更低,0.5 A 或更低
觸點(diǎn)在預(yù)熱期間閉合(觸點(diǎn)作可調(diào))
  • 非電壓觸點(diǎn)的最小開(kāi)/關(guān)容量為 12 V 或更高;不響應(yīng)極小的負(fù)載

MRK(范圍標(biāo)記)輸出3 積分無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量:24 V DC/AC 以下、0.1 A 以下
預(yù)熱時(shí)間20 分鐘或更短
尺寸身體288 mm(寬)×144 mm(高)×400 mm(深)(不包括突出部分)
重量約 10 kg
氣體連接入口RC1/8
旁通輸出RC1/8
出口RC1/4
權(quán)力100 至 120 V AC±10% 200 V A 50 Hz/60 Hz





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