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日立電子顯微鏡聚光鏡球差電鏡
簡要描述:

日立 HF5000 電子顯微鏡聚光鏡球差電鏡
日立電子顯微鏡聚光鏡球差電鏡

特點(diǎn)
標(biāo)配日立生產(chǎn)的照射系統(tǒng)球差校正器(附自動(dòng)校正功能)
搭載具有高輝度、高穩(wěn)定性的冷場FE電子槍
鏡體和電源等的高穩(wěn)定性使機(jī)體的性能大幅度提升
觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時(shí)觀察原子分辨率SE圖像
采用側(cè)面放入樣品的新型樣品臺結(jié)構(gòu)以及樣品桿
支持高立體角EDX*的對稱配置(對稱Dual SDD*)
采用全新構(gòu)

  • 產(chǎn)品型號:HF5000
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-08-08
  • 訪  問  量:342

詳細(xì)介紹

日立電子顯微鏡聚光鏡球差電鏡

日立電子顯微鏡聚光鏡球差電鏡


特點(diǎn)

  1. 標(biāo)配日立生產(chǎn)的照射系統(tǒng)球差校正器(附自動(dòng)校正功能)

  2. 搭載具有高輝度、高穩(wěn)定性的冷場FE電子槍

  3. 鏡體和電源等的高穩(wěn)定性使機(jī)體的性能大幅度提升

  4. 觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時(shí)觀察原子分辨率SE圖像

  5. 采用側(cè)面放入樣品的新型樣品臺結(jié)構(gòu)以及樣品桿

  6. 支持高立體角EDX*的對稱配置(對稱Dual SDD*)

  7. 采用全新構(gòu)造的機(jī)體外殼蓋

  8. 配備日立生產(chǎn)的高性能樣品桿*

*選項(xiàng)

高輝度冷場FE電子槍×高穩(wěn)定性×日立制球面像差校正器


以長年積累起來的高輝度冷場FE電子源技術(shù)為基礎(chǔ),進(jìn)行優(yōu)化,進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)電子槍的高度穩(wěn)定性。
此外,還更新了鏡體,電源系統(tǒng)和樣品臺,以支持觀察亞?圖像,并提升了機(jī)械和電氣穩(wěn)定性,然后與日立公司的球差校正器結(jié)合使用。

不僅可以穩(wěn)定地獲得更高亮度更精密的探頭,而且自動(dòng)像差校正功能可以實(shí)現(xiàn)快速校正,從而易于發(fā)揮設(shè)備的固有性能。使像差校正可以更實(shí)用。





日立電子顯微鏡聚光鏡球差電鏡

Si(211)單晶體HAADF-STEM圖像(左)和圖像強(qiáng)度曲線分布(右下)、FFT功率譜(右上)


支持高立體角EDX*的對稱Dual SDD*


支持雙重配置100 mm2 SDD檢測器,以實(shí)現(xiàn)更高的靈敏度和處理能力進(jìn)行EDX元素分析。
由于第二檢測器位于第一檢測器的對面位置,因此,幾乎不會(huì)因?yàn)闃悠穬A斜,導(dǎo)致X射線中的信號檢測量發(fā)生變化。所以,即使是結(jié)晶性樣品,也不用顧忌信號量,可按照樣品的方向與位置進(jìn)行元素分析。
此外,對于電子束敏感樣品、低X光輻射量的樣品,除了原子列映射,在低倍、廣視野的高精細(xì)映射等領(lǐng)域也極為有效。




日立電子顯微鏡聚光鏡球差電鏡

GaAs(110)的原子柱EDX映射


像差校正SEM圖像/STEM圖像 同時(shí)觀察



配有標(biāo)配二次電子檢測器,可同時(shí)觀察像差校正SEM/STEM圖像。通過同時(shí)觀察樣品的表面和內(nèi)部結(jié)構(gòu),可以掌握樣品的三維構(gòu)造。
在像差校正SEM圖像中,除了可以通過校正球差來提高分辨率之外,還可以獲取更真實(shí)地樣品表面圖像


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