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HORIBA堀場半導(dǎo)體緊湊型汽化系統(tǒng)玉科供應(yīng)
簡要描述：

HORIBA堀場VC-1420半導(dǎo)體緊湊型汽化系統(tǒng)玉科供應(yīng)
HORIBA堀場半導(dǎo)體緊湊型汽化系統(tǒng)玉科供應(yīng)

  • 產(chǎn)品型號：VC-1420
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2025-02-19
  • 訪  問  量：47

詳細(xì)介紹

HORIBA堀場半導(dǎo)體緊湊型汽化系統(tǒng)玉科供應(yīng)

HORIBA堀場半導(dǎo)體緊湊型汽化系統(tǒng)玉科供應(yīng)

VC 系列


直接液體注入系統(tǒng)

VC 系列能夠在無載氣的情況下快速汽化純水或其他液體源，組建更緊湊的汽化系統(tǒng)。

HORIBA 可為您提供由 VC 系列和您需要的所有其他組件組成的定制汽化系統(tǒng)：

  • 一種用于流量測量的液體質(zhì)量流量計(jì)

  • 一種用于蒸氣流量測量的高溫質(zhì)量流量控制器

  • 閥門、過濾器、加熱器等


  • 尺寸緊湊

  • 可安裝在各種位置

  • 暢銷的 TEOS 汽化系統(tǒng)

  • 結(jié)合 SEF 或 LF，可實(shí)現(xiàn)數(shù)字控制

  • 無需特殊鼓泡罐或汽化罐

  • DeviceNetTM 型產(chǎn)品系列

  • 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

模型

VC-1420



生成流量*1（TEOS生成時）

最大5.0 CCM轉(zhuǎn)化率（液相轉(zhuǎn)化率）



支持液體

 工作，P(OCH3)3，C6F6



溫度上升

 最高150℃



產(chǎn)生的壓力*1

 減壓



外部泄漏完整性

 1.0×10-8帕·立方米/秒



內(nèi)部泄漏完整性

 1.0×10-6帕·立方米/秒



接觸液體的材質(zhì)

316L 不銹鋼（拋光表面）



內(nèi)部加熱器容量

 交流 100V 至 120V 70W(35Wx2)



使用的溫度傳感器

K型熱電偶（CA）



耐壓性

 1.0MPa（氣壓）



 標(biāo)準(zhǔn)配件

 液體入口：1/8 英寸 VCR 型外螺紋 氣體出口：1/4 英寸 VCR 型內(nèi)螺紋



*1 根據(jù)液體的種類而變化。



*CCM 是表示氣體流速（25°C、101.3 kPa 時 mL/min）的符號。


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