日本HOBIBA堀場進口全新晶圓背面冷卻系統(tǒng)

日本HOBIBA堀場進口全新晶圓背面冷卻系統(tǒng)

GR-300 系列

晶圓背面冷卻系統(tǒng)

GR-300 系列可以控制用于冷卻由靜電吸盤系統(tǒng)固定到位的晶圓背面的氣體。

GR-300 的穩(wěn)定性和準確性使其成為控制晶圓冷卻系統(tǒng)中氦氣和氬氣流量的理想選擇

• 壓力控制更穩(wěn)定、更準確

• 質量流量傳感器 （可選）

• 適用于各種配件

• 符合 RoHS 標準

應用示例

在下面的示例中，GR-300 系列控制用于冷卻由靜電吸盤系統(tǒng)固定到位的晶圓背面的氣體。

我司代理及優(yōu)勢品牌一覽明細：

代理品牌：CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學、NIPPON GEAR日本齒輪

WATSON深江化成、TORAY東麗

優(yōu)勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC

S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計器

IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學

HEIDON新東、KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛光

SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川

SEKONIC世光、ADVANTEC東洋等