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產(chǎn)品型號：NE-5700/NE-7800廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2024-11-25訪 問 量：149
產(chǎn)品分類
CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備
適合量產(chǎn)的NE-5700/NE-7800干法刻蝕設(shè)備是一款可擴(kuò)展的刻蝕設(shè)備，支持從一個腔室到多個腔室，強(qiáng)調(diào)性價比。
除1個腔體外，還可配備磁場ICP（ISM）、NLD等離子體源、灰化腔體、CCP腔體，兼容多種刻蝕工藝。
配備星形電極和各種溫度控制功能，可實(shí)現(xiàn)過程的再現(xiàn)性和穩(wěn)定性。
易于維護(hù)的結(jié)構(gòu)，停機(jī)時間最短，全面的備份系統(tǒng)，包括再生清潔、零件供應(yīng)、維護(hù)和培訓(xùn)服務(wù)。
半導(dǎo)體技術(shù)研究院提供完善的工藝支持系統(tǒng)。
化合物（LED、LD、高頻器件）和功率器件（IGBT 布線加工、SiC 加工）。
用于金屬布線、層間絕緣膜（樹脂類）、柵電極加工工序。
用于蝕刻鐵電材料和貴金屬。
用于加工磁性材料。
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