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詳細(xì)介紹
HORIBA堀場(chǎng)蒸汽濃度監(jiān)測(cè)儀玉科全新供應(yīng)
HORIBA堀場(chǎng)蒸汽濃度監(jiān)測(cè)儀玉科全新供應(yīng)
蒸汽濃度監(jiān)測(cè)儀
金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)工藝廣泛應(yīng)用于發(fā)光二極管、光學(xué)器件和其他組建的制造。通過控制溫度、壓力和載氣流速(鼓泡法),液體和固體化學(xué)品被輸送到反應(yīng)室。IR-300 系列可實(shí)時(shí)測(cè)量和報(bào)告化學(xué)品濃度,為用戶帶來以下優(yōu)勢(shì):
優(yōu)化制程控制,生產(chǎn)更多高級(jí)器件
提高器件成品率并減少?gòu)U料
提高再現(xiàn)性
了解何時(shí)需要更換鼓泡器
延長(zhǎng) MTTA
減少非計(jì)劃干預(yù)
減少高價(jià)值的化學(xué)品浪費(fèi)
實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)
快速響應(yīng)和出色的重復(fù)性允許實(shí)時(shí)跟蹤蒸汽濃度的變化
多重校準(zhǔn)曲線功能(可選)
允許測(cè)量多達(dá) 3 種化學(xué)品或量程的濃度
多重顯示功能
IR-300 設(shè)備頂部的多重顯示功能為用戶提供了濃度監(jiān)測(cè)和前驅(qū)體供應(yīng)管線狀態(tài)的現(xiàn)場(chǎng)檢查能力
通信功能
通過 DeviceNet™、RS485 和模擬通信連接
設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單緊湊
該設(shè)備的面對(duì)面尺寸為 124 毫米,設(shè)計(jì)緊湊且不受安裝方向限制,易于集成
高光強(qiáng)和長(zhǎng)壽命光源與高速信號(hào)處理相結(jié)合,使 IR-300 系列能夠?qū)瘜W(xué)品濃度的變化做出更快、更可重復(fù)的響應(yīng)。這些特性通過實(shí)時(shí)在線濃度測(cè)量,讓用戶真正了解實(shí)際制程。
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