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詳細(xì)介紹
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體熱輥真空熱處理爐
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體熱輥真空熱處理爐
可廣泛用于各種金屬零件的熱處理、釬焊、燒結(jié)等真空熱處理。 通過(guò)采用熱輥輸送方式并組合各單元室,可以構(gòu)成適合工藝的多室爐。
通過(guò)采用熱輥輸送方式,可以實(shí)現(xiàn)具有三個(gè)以上室的多室爐。
您可以根據(jù)您的工藝,通過(guò)組合準(zhǔn)備室(真空/大氣交換)、預(yù)熱室(通常為 500℃)、加熱室(通常為 1150℃)和冷卻室單元來(lái)配置最佳設(shè)備。
通過(guò)用雙閘閥分隔每個(gè)室,可以分離真空/大氣。
通過(guò)使用載氣法,可以在蒸發(fā)較少的情況下處理金屬。
可以根據(jù)計(jì)劃生產(chǎn)量添加單位。
可以在線(xiàn)處理加熱 1 → 冷卻 1 → 加熱 2 → 冷卻 2 → 從產(chǎn)品組中移除。
真空熱處理:各種金屬的熱處理、釬焊
燒結(jié)處理:磁鐵
規(guī)格/型號(hào) | 6090 | 6150 | 評(píng)論 | ||
表現(xiàn) | |||||
尺寸 | 均勻加熱尺寸(mm) | 寬度 | 600 | 600 | |
長(zhǎng)度 | 900 | 1500 | |||
高度 | 600 | 600 | |||
最大處理量(kg) | 500 | 800 | 包括托盤(pán)重量 | ||
溫度 | 最高溫度 | 預(yù)熱室 | 600℃ | ||
加熱室 | 1200℃ | ||||
常用溫度 | 預(yù)熱室 | 500℃ | |||
加熱室 | 1100℃ | ||||
冷卻 | 氣體冷卻 | 標(biāo)準(zhǔn) | 30分鐘內(nèi) | Ar、N2氣體 可選 | |
壓力式 | 190kPaG | ||||
真空 | 極限壓力 | 標(biāo)準(zhǔn) | 10 -1帕級(jí) | 空爐脫氣后值 | |
高真空型 | 10 -3帕級(jí) | ||||
常壓 | 標(biāo)準(zhǔn)(1) | 1Pa~10Pa | (1) 低真空中 (2) 載氣中 | ||
標(biāo)準(zhǔn)(2) | 10Pa~100Pa | ||||
高真空型 | 10-2帕至10-1帕 | ||||
排氣時(shí)間 | 準(zhǔn)備室 | 10分鐘內(nèi) | 空氣爐內(nèi)氣壓至10Pa以下 | ||
預(yù)熱室 | 10分鐘內(nèi) | ||||
冷卻室 | 10分鐘內(nèi) | ||||
泄漏率 | 準(zhǔn)備室 | 4×10 -4以下 | 增壓法 | ||
預(yù)熱室 | 4×10 -4以下 | ||||
加熱室 | 2×10 -4以下 | ||||
冷卻室 | 4×10 -4以下 | ||||
公用事業(yè) | |||||
3室型 | 電能(千伏安) | 300 | 第480章 | 設(shè)備電量 | |
冷卻水量(m 3 /hr) | 15 | 18 | 水溫:20-30℃ | ||
壓縮空氣量(Nm 3 /min) | 1100 | 1100 | 所需流量 | ||
載氣量(L/min) | 80 | 200 | 流量計(jì)最大值 | ||
冷卻氣體量(m 3 /次) | 9 | 12 | 190kPa加壓冷卻 | ||
建筑面積(平方米) | 寬度 | 10 | 12 | ||
長(zhǎng)度 | 10 | 13 | |||
高度 | 5.8 | 5.8 | |||
5室型 (預(yù)熱×2加熱×2冷卻×1) | 電能(千伏安) | 第425章 | 750 | 設(shè)備電量 | |
冷卻水量(m 3 /hr) | 二十五 | 30 | 水溫:20-30℃ | ||
壓縮空氣量(Nm 3 /min) | 1100 | 1100 | 所需流量 | ||
載氣量(L/min) | 160 | 300 | 流量計(jì)最大值 | ||
冷卻氣體量(m 3 /次) | 9 | 11.7 | 190kPa加壓冷卻 | ||
建筑面積(平方米) | 寬度 | 10 | 12 | ||
長(zhǎng)度 | 12.5 | 17.5 | |||
高度 | 5.8 | 5.8 |
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