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詳細(xì)介紹
日本ULVAC愛發(fā)科大型設(shè)備濺射SV-9045
日本ULVAC愛發(fā)科大型設(shè)備濺射SV-9045
SV-4540、6040和9045為轉(zhuǎn)盤式,具有較大的電路板裝載能力,非常適合中小型或小批量、多品種生產(chǎn)。
SV-200 圓盤壓模機(jī) 鎳膜沉積專用設(shè)備,超緊湊、全自動、高產(chǎn)量。
在各種基材上沉積電極膜、絕緣膜和介電膜
SV-200 | SV-4540 | SV-6040 | SV-9045 | |
標(biāo)準(zhǔn)排氣系統(tǒng) | 8"低溫泵 | 12"低溫泵 | 12"低溫泵 | 16"低溫泵 |
極限壓力 | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa |
車廠方向 | 邊 | 邊 | 邊 | 邊 |
成膜面積均勻性 靜 轉(zhuǎn) | Φ200mm±5% | L300mm±10% | L300mm±10% | L400mm±10% |
基材加熱 | 沒有任何 | 250℃ | 250℃ | 250℃ |
控制系統(tǒng) | 自動的 | 自動的 | 自動的 | 自動的 |
不包括選項SV-200 | 渦輪泵 | 非水冷電極 | ||
油擴(kuò)散泵 | APC機(jī)制 | |||
多個同時倉庫 | 基材換向機(jī)構(gòu) | |||
下站 | 反應(yīng)濺射 | |||
常規(guī)陰極 | ||||
鐵磁材料陰極 | ||||
射頻蝕刻清洗 (SV-4540) | ||||
偏置機(jī)構(gòu)(SV-4540) |
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